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비치장소
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주요사양(Spec.)
Maximum Travel X, Z axis [in. (mm)] 0.5 (13) Maximum Travel Y axis [in. (mm)] 0.5 (13) Angular Deviation (micro rad) <100 Load Capacity [lb (N)] 35 (156) Optical Axis Height [in. (mm)] 3.875 (98.4)
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<참조> micrometer SM-13 3개 (x,y,z-axis) Sensitivity 1 um pico-meter contoler (Newfocus) -2020.08 1개 추가구매(OMA통함), 371만원